低压真空渗碳是一种最先进的热工艺，涉及在非常低的压力（7-13 mbar）下进行渗碳。首先，在真空中将零件加热至合金的转变温度以上，然后在分压下，将加热后的零件放到载碳气体或气体混合物中。Nitrex 研发了一种名为“脉冲压力”的革命性工艺，将很快成为行业标准。
相对于传统渗碳，该方法的主要优点是：
渗碳基本方面的内容载于传统渗碳一节。
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