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单一气体分析仪
AtmoSense™ 实时计量各种气氛控制应用中的工艺气体。AtmoSense™ 具有一系列传感器和选件,可准确计量露点、相对湿度 (%RH)、甲烷 (CH4)、丙烷 (C3H8)、氢气 (H2)、一氧化碳 (CO) 或二氧化碳 (CO2)。AtmoSense™ 气体分析仪可以单独使用或与其他传感器配合使用,用于计量多种工艺气体,且其可独立使用,或集成至新的控制系统或现有控制系统。
过滤 | 0.5 微米级固体元件 |
0.3 微米级凝聚式过滤器 | |
选配泵容量: | 1 PSI 时 16.3 CFH(69 mbar 时 7.7 L/min) |
电源 | 12 VDC 内置式电池 |
充电电源要求 | 120 VAC,50-60 Hz |
传感器类型: | 低量程 | 最大量程 | 分辨率 | RH 量程 |
---|---|---|---|---|
露点 | -60°C | 60°C | 0.1°C | 0-100% |
氢 | 0.0% vol | 100.0% vol | 0.10% | 0-100% |
甲烷 - 低量程 | 0.00% vol | 5.00% vol | 0.01% vol | 5-95% |
甲烷 - 满量程 | 0.0% vol | 100.0% vol | 0.1% vol | 5-95% |
一氧化碳 | 0.0% vol | 100.0% vol | 0.1% vol | 5-95% |
二氧化碳 | 0.000% vol | 2.000% vol | 0.005% vol | 5-95% |
氧气 | 0.0% vol | 20.0% vol | 0.01% vol | 5-95% |
氧气 - 满量程 | 0.0% vol | 100.0% vol | 0.1% vol | 5-95% |
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