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La carbonitruración al vacío es un proceso térmico de difusión simultánea de carbono y nitrógeno en una aleación ferrosa a presión parcial. De esta forma, se consigue una superficie muy dura y resistente al desgaste. La carbonitruración al vacío es una importante mejora con respecto a la carbonitruración gaseosa convencional. El proceso posee todos los beneficios inherentes a la carburación al vacío, pero también tiene la ventaja adicional de un preciso control por ordenador del contenido de amoníaco en la superficie. Además, este proceso no requiere ningún quemado refractario adicional, por lo que no solo el producto final es de mayor calidad, sino que a menudo el proceso es menos costoso que otros procesos gaseosos convencionales.
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