用於氮化和氮碳共滲的單一氣體傳感器
导热性集成采样系统
SGS™ – 为单一气体传感器,可实现对二元或准二元工艺气氛中的氢含量进行高精度计量。SGS™ 具有维护成本低,使用寿命长等特点,无需加热采样管线、滤清器等。SGS™ 可单独使用,或集成至新的控制系统或现有控制系统。
SGS™ 计量精度高,可用于计量渗氮和氮碳共渗气氛中的氢含量或离解度水平,其亦可用于计算可控渗氮及氮碳共渗的氮势及碳势。
采样系统结构完整,无需独立的外部系统。此单片 SGS™ 传感器直接安装于工艺排气管线或样品端口上,并根据文丘里效应对气氛进行采样。
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